2024年11月2 -4日，由中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)微納器件與系統(tǒng)技術(shù)分會(huì)、清華大學(xué)主辦，西北工業(yè)大學(xué)承辦的2024微米納米技術(shù)創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)化國(guó)際論壇（ICMAN2024）暨第九屆微米納米技術(shù)“創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)化”科研成果轉(zhuǎn)化學(xué)生大賽在西安市圓滿落幕，200多名國(guó)內(nèi)外微納領(lǐng)域?qū)＜摇⒀芯咳藛T、企業(yè)界人士參會(huì)，圍繞“從傳感芯片到儀器”這一主題，深度聚焦微納器件制造與微系統(tǒng)技術(shù)研究，進(jìn)行學(xué)術(shù)交流和產(chǎn)業(yè)推廣，促進(jìn)微米納米技術(shù)創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)化。

論壇開(kāi)幕式由中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)微納器件與系統(tǒng)技術(shù)分會(huì)副主任委員、西北工業(yè)大學(xué)苑偉政教授主持，中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)副秘書長(zhǎng)張莉、中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)微納器件與系統(tǒng)技術(shù)分會(huì)主任委員、蘇州大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院院長(zhǎng)孫立寧教授，西北工業(yè)大學(xué)黨委副書記、副校長(zhǎng)詹浩教授等致辭，西北工業(yè)大學(xué)國(guó)際合作處處長(zhǎng)孔杰教授等出席會(huì)議。

中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)微納器件與系統(tǒng)技術(shù)分會(huì)副主任委員、西北工業(yè)大學(xué)苑偉政教授主持

中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)副秘書長(zhǎng)張莉致辭

中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)微納器件與系統(tǒng)技術(shù)分會(huì)主任委員、蘇州大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院院長(zhǎng)孫立寧教授致辭

西北工業(yè)大學(xué)黨委副書記、副校長(zhǎng)詹浩教授致辭

來(lái)自高校、研究所和企業(yè)的25位專家、學(xué)者、企業(yè)家等作了精彩報(bào)告。主旨報(bào)告分別由中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)微納器件與系統(tǒng)技術(shù)分會(huì)常務(wù)副主任委員、清華大學(xué)朱榮教授，西北工業(yè)大學(xué)馬炳和教授以及漢威科技集團(tuán)股份有限公司首席專家張小水高工主持。

孫立寧教授在主旨報(bào)告中基于“機(jī)器人智能化是重要的發(fā)展趨勢(shì)，微納感知是機(jī)器人的重要基礎(chǔ)與核心技術(shù)”這一發(fā)展現(xiàn)狀分享以機(jī)器人為代表的智能產(chǎn)品在智能制造和智慧生活中的應(yīng)用、機(jī)器人前沿技術(shù)與發(fā)展趨勢(shì)。重點(diǎn)介紹微納感知技術(shù)的發(fā)展現(xiàn)狀以及與機(jī)器人技術(shù)的結(jié)合與應(yīng)用成果。

苑偉政教授在主旨報(bào)告中提到，師法自然，從“形似”到“神似”到“勝似”，仿生微納結(jié)構(gòu)是微納技術(shù)領(lǐng)域的國(guó)際前沿，在諸多領(lǐng)域有廣闊的應(yīng)用前景。秦嶺高山箭竹抗冰雪現(xiàn)象和庫(kù)姆塔格沙漠地貌構(gòu)型萌生的疏冰、減阻微納功能結(jié)構(gòu)為創(chuàng)新仿生蒙皮技術(shù)，提升現(xiàn)代航行器性能提供了嶄新途徑。

李正國(guó)教授在主旨報(bào)告中回顧并強(qiáng)調(diào)了人工智能傳感器和AIoT傳感系統(tǒng)的進(jìn)展。團(tuán)隊(duì)利用可穿戴傳感器的輕便、兼容和舒適特性，以及通過(guò)人工智能（AI）通過(guò)智能數(shù)據(jù)分析，在個(gè)性化醫(yī)療、人機(jī)交互和元宇宙沉浸中開(kāi)辟了新的領(lǐng)域。傳感器內(nèi)計(jì)算被開(kāi)發(fā)為實(shí)現(xiàn)物聯(lián)網(wǎng)傳感系統(tǒng)邊緣計(jì)算的一種新興方法。

李昕欣研究員在主旨報(bào)告中介紹團(tuán)隊(duì)發(fā)明一種集成MEMS傳感測(cè)量芯片，將質(zhì)量分辨力提高了6個(gè)數(shù)量級(jí)至優(yōu)于1皮克，首次達(dá)到了動(dòng)態(tài)測(cè)量作用分子數(shù)的統(tǒng)計(jì)熱力學(xué)和動(dòng)力學(xué)過(guò)程的水平。將傳感芯片的測(cè)量方法與物質(zhì)理化特性理論和量化表征方程等有機(jī)結(jié)合，再配以儀器相關(guān)的軟硬件技術(shù)開(kāi)發(fā)，最終在全球首次實(shí)現(xiàn)了微芯片化的系列創(chuàng)新儀器成果。

謝會(huì)開(kāi)教授在主旨報(bào)告中分析了光學(xué)MEMS技術(shù)的發(fā)展歷程，并指出數(shù)字微鏡器件（DMD）仍然占據(jù)了光學(xué)MEMS的絕對(duì)市場(chǎng)。那么，光學(xué)MEMS下一個(gè)機(jī)遇在哪里？是MEMS激光雷達(dá)？MEMS深度相機(jī)？AR/VR眼鏡？空間激光通信？微型光譜儀？還是用于精準(zhǔn)醫(yī)學(xué)的光學(xué)顯微影像？甚至是DMD的替代技術(shù)？這些問(wèn)題在這次報(bào)告中進(jìn)行了探討。

主題（特邀）報(bào)告分別由西北工業(yè)大學(xué)陶凱教授、中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所梁靜秋研究員和蘇州大學(xué)劉會(huì)聰教授主持。西北工業(yè)大學(xué)PAVEL NEUZIL教授，北京航空航天大學(xué)常凌乾教授，北京大學(xué)王瑋教授，中國(guó)科學(xué)院空天信息創(chuàng)新研究院陳健研究員，太原理工大學(xué)桑勝波教授，西安交通大學(xué)韋學(xué)勇教授，浙江工業(yè)大學(xué)董健教授，蘇州晶方半導(dǎo)體科技股份有限公司研發(fā)部總經(jīng)理?xiàng)顒辏鞅焙思夹g(shù)研究所七所所長(zhǎng)楊鵬翎研究員，英國(guó)紐卡斯?fàn)栔Z桑比亞大學(xué)傅永慶教授作大會(huì)主題（特邀）報(bào)告。

青年專家論壇報(bào)告由中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)微納器件與系統(tǒng)技術(shù)分會(huì)常務(wù)委員、蘇州大學(xué)劉會(huì)聰教授開(kāi)場(chǎng)，分別由中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)微納器件與系統(tǒng)技術(shù)分會(huì)常務(wù)委員、上海交通大學(xué)楊卓青教授和西北工業(yè)大學(xué)張和民教授主持。哈爾濱工業(yè)大學(xué)張甲教授，上海交通大學(xué)邵磊副教授，清華大學(xué)柳世強(qiáng)特聘研究員，上海大學(xué)王楠教授，四川大學(xué)王竹卿特聘研究員，西北工業(yè)大學(xué)李天明教授，香港中文大學(xué)（深圳）張舵助理教授，中北大學(xué)何劍教授（張婕代），澳門大學(xué)王苑助理教授，中國(guó)電力科學(xué)研究院傳感所電學(xué)傳感室主任陸陽(yáng)（程宇心代）作大會(huì)青年專家論壇報(bào)告。

國(guó)內(nèi)領(lǐng)域?qū)＜摇⒀芯咳藛T和知名企業(yè)家齊聚一堂，在MEMS技術(shù)、微納器件制造、微系統(tǒng)技術(shù)研究等方面交流獨(dú)到的見(jiàn)解，分享各自取得的研究成果，促進(jìn)微納領(lǐng)域技術(shù)的交流發(fā)展。

同時(shí)，會(huì)議召開(kāi)期間還進(jìn)行了兩場(chǎng)技術(shù)參觀活動(dòng)，由西北工業(yè)大學(xué)苑偉政教授主持，部分參會(huì)代表們共同參觀了西北工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院微納系統(tǒng)實(shí)驗(yàn)室，旨在讓大家更深入地了解西工大微納米系統(tǒng)實(shí)驗(yàn)室的發(fā)展歷程，介紹高水平創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)的組成結(jié)構(gòu)和產(chǎn)學(xué)研合作關(guān)系伙伴，展示具有代表性的優(yōu)秀科研成果。

此外，同期舉行了第九屆微米納米技術(shù)“創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)化”科研成果轉(zhuǎn)化學(xué)生大賽，這也是會(huì)議的亮點(diǎn)之一，該賽事旨在鼓勵(lì)在校大學(xué)生和研究生將具有產(chǎn)業(yè)化潛力的研究成果進(jìn)行展示和產(chǎn)業(yè)化策劃，引導(dǎo)和激勵(lì)年輕學(xué)子積極參與微米納米技術(shù)創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)化事業(yè)。本次大賽得到數(shù)十所高校及科研院所的近百名師生積極響應(yīng)和報(bào)名，甄選出9組優(yōu)秀隊(duì)伍入圍決賽，共30余名學(xué)生參會(huì)，2日下午做出了精彩的展示。各隊(duì)選派代表進(jìn)行了精彩的答辯并接受了答辯委員會(huì)評(píng)委的現(xiàn)場(chǎng)評(píng)審。最終，來(lái)自中國(guó)科學(xué)院空天信息創(chuàng)新研究院“MEMS弱耦合諧振式全量程真空傳感器”項(xiàng)目榮獲本屆大賽一等獎(jiǎng)；來(lái)自浙江大學(xué)的“一體式超表面光譜芯片”項(xiàng)目榮獲大賽二等獎(jiǎng)；來(lái)自西北工業(yè)大學(xué)的“一種免解耦高分辨率多維微力測(cè)試天平”、重慶大學(xué)的“基于超聲原理的泥沙濃度傳感器”項(xiàng)目獲得大賽三等獎(jiǎng)。

本次國(guó)際論壇為來(lái)自國(guó)內(nèi)學(xué)術(shù)界和工業(yè)界的專家學(xué)者、企業(yè)家及研究人員提供一個(gè)促進(jìn)微米納米技術(shù)和傳感器創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)化的重要技術(shù)交流平臺(tái)，同時(shí)也是學(xué)術(shù)界和工業(yè)界相互合作、共同促進(jìn)先進(jìn)技術(shù)產(chǎn)業(yè)化的紐帶。