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【會員風采】微納器件與系統技術分會常務理事——任天令教授

2022-04-19 會員風采

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任天令,中國儀器儀表學會微納器件與系統技術分會常務理事,清華大學信息學院副院長,集成電路學院教授,長江學者特聘教授,國家杰出青年基金獲得者。曾擔任IEEE電子器件學會副主席、國際微電子領域頂級學術會議IEDM執委、IEEE電子器件學會教育委員會主席,均為中國大陸首次。長期致力于新型智能微納電子器件、芯片與系統的研究,包括:智能傳感器與智能集成系統,二維納電子器件與芯片,柔性、可穿戴器件與系統,智能信息器件與系統技術等。承擔國家自然科學重點基金、國家重大科技專項、國家公益性行業科研專項、科技部重點研發計劃等多項國家重要科技項目,做出一系列具有重要國際影響的創新學術成果,如目前國際上柵極物理尺寸最小的晶體管、石墨烯智能人工喉、智能人工耳膜、石墨烯三維人機交互器件、新型不揮發存儲芯片、光譜可調的發光器件、仿生突觸器件等。在Nature, Nature Electronics, Nature Communications, IEEE EDL等國際重要學術期刊以及IEDM等頂級國際學術會議上發表600余篇論文,同時他是70多項專利的共同發明人,曾兩度榮獲“清華大學良師益友”。

2022年3月,任天令教授團隊在小尺寸晶體管研究方面取得重大突破,首次實現了具有亞1納米柵極長度的晶體管,并具有良好的電學性能。相關成果以“具有亞1納米柵極長度的垂直硫化鉬晶體管”(Vertical MoS2 transistors with sub-1-nm gate lengths)為題,于3月10日在線發表在國際頂級學術期刊《Nature》(IF: 49.962)上,論文通訊作者為任天令教授。

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亞1納米柵長晶體管結構示意圖

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亞1納米柵長晶體管器件工藝流程、示意圖、表征圖以及實物圖