國(guó)內(nèi)會(huì)議
2022年中國(guó)儀器儀表學(xué)術(shù)年會(huì)光學(xué)儀器與技術(shù)分論壇召開
2022年11月29-30日,由中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)、國(guó)務(wù)院學(xué)位委員會(huì)儀器科學(xué)與技術(shù)學(xué)科評(píng)議組、教育部高等學(xué)校儀器類專業(yè)教學(xué)指導(dǎo)委員會(huì)主辦,上海交通大學(xué)、上海工業(yè)自動(dòng)化儀表研究院有限公司承辦的2022年中國(guó)儀器儀表學(xué)術(shù)年會(huì)采取線上線下相結(jié)合的方式順利召開。
會(huì)議注冊(cè)代表824人,來(lái)自全國(guó)31個(gè)省、市、自治區(qū)。
會(huì)議歷時(shí)3天,設(shè)院長(zhǎng)論壇、標(biāo)準(zhǔn)化委員會(huì)工作會(huì)議、開幕式主論壇、閉幕式主論壇、專題分論壇、產(chǎn)學(xué)研技術(shù)交流會(huì),共17場(chǎng)活動(dòng),特邀6位院士報(bào)告、78 位中青年專家報(bào)告。
由光機(jī)電技術(shù)與系統(tǒng)集成分會(huì)負(fù)責(zé)組織的“光學(xué)儀器與技術(shù)”分論壇于29日下午在線上召開。會(huì)議由光機(jī)電技術(shù)與系統(tǒng)集成分會(huì)主任委員、天津大學(xué)教授劉鐵根致開幕辭和歡迎辭,他介紹了“光學(xué)儀器與技術(shù)”分論壇基本情況及本次會(huì)議的組稿情況。會(huì)議由劉鐵根主任委員和光機(jī)電分會(huì)常務(wù)副主任委員、北京理工大學(xué)教授、長(zhǎng)春理工大學(xué)副校長(zhǎng)郝群主持。
會(huì)議邀請(qǐng)到了9位光學(xué)儀器與技術(shù)領(lǐng)域的專家作了邀請(qǐng)報(bào)告,朱健強(qiáng)研究員的報(bào)告結(jié)合高功率激光物理聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室50余年的發(fā)展歷程,說(shuō)明了激光器驅(qū)動(dòng)機(jī)理問(wèn)題的理解和解決是大科學(xué)工程發(fā)展的必由之路。周維虎研究員報(bào)告范圍包括關(guān)鍵尺寸(CD)的量測(cè)、顯微技術(shù)、光刻量測(cè)、前端工藝量測(cè)、片上互連量測(cè)、3D互連量測(cè)、材料表征、新材料和新器件的量測(cè)以及參考物質(zhì)等內(nèi)容。張宗華教授的報(bào)告針對(duì)透視投影誤差、三維測(cè)量系統(tǒng)標(biāo)定技術(shù)復(fù)雜且耗時(shí)及相位靈敏度低三個(gè)主要難題,提出了有效解決方法。陳洪芳教授的報(bào)告介紹了用先進(jìn)的激光測(cè)量技術(shù)提高樣板的測(cè)量精度來(lái)確保齒輪制造的精度。胡鵬程教授介紹了具有亞納米至皮米分辨力、超低非線性和高穩(wěn)定性特征的新一代亞納米和皮米級(jí)超精密激光干涉測(cè)量方法,在下一代微電子光刻機(jī)、表面科學(xué)與工程、納米加工、精密計(jì)量、大科學(xué)裝置等研究領(lǐng)域具有潛在的廣泛應(yīng)用前景。唐鑫教授介紹了新型膠體量子點(diǎn)作為一種新興液態(tài)半導(dǎo)體材料,具有光譜調(diào)控范圍“寬”、合成規(guī)模“大”、制備成本“低”、以及加工工藝“易”等優(yōu)勢(shì),為新型紅外焦平面陣列研發(fā)提供了全新的思路。
本論壇共收到來(lái)自29個(gè)高校、研究所和科技公司的投稿60余篇,評(píng)選出優(yōu)秀論文10篇。本次會(huì)議提供了國(guó)內(nèi)光學(xué)儀器與技術(shù)領(lǐng)域交流平臺(tái),通過(guò)學(xué)術(shù)報(bào)告與交流,對(duì)我國(guó)光學(xué)儀器與技術(shù)的發(fā)展起到一定的推動(dòng)作用。